Вид документа:

Збірник

УДК:

621.382.8(06)
Шифр: 621.382(06) И37
Измерение и контроль при производстве интегральных схем : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники. – Москва, 1984. – 115 с. – 0,48


Статистика використання: Видач: 0