Шифр: 621.3(07) С30
Семенець В. В. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології : підруч. / В. В. Семенець, І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін. – Харків : СМІТ, 2011. – 416 с. – ISBN 978-966-2028-73-7. – 90,00
Семенець В. В. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології : підруч. / В. В. Семенець, І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін. – Харків : СМІТ, 2011. – 416 с. – ISBN 978-966-2028-73-7. – 90,00
- Електронна версія (pdf / 94 Mb)
- Замовити
Статистика використання: Завантажень: 40 Видач: 82
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 101 | 100 |
Тема:
- УДК
- 621.3.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
- 620.3 Нанотехнологія Ключові слова
- нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology
- електронні системи, ЕС, электронные системы, ЭС
- фотонні кристали, ФК, фотонные кристаллы
- сенсори, сенсоры
- мікросистемна техніка (мікросистемотехніка), МСТ, микросистемная техника (микросистемотехника)
- полімерні матеріали, полимерные материалы
- провідникові матеріали, проводниковые материалы
- технології виготовлення, технологии изготовления
- міжз'єднання, межсоединения
- мікроелектромеханічні системи, МЕМС, микроэлектромеханические системы, МЭМС
- кремнієві структури, кремниевые структуры
- мікрооптоелектромеханічні системи, МОЕМС, микрооптоэлектромеханические системы, МОЭМС
- інтелектуальні матеріали, интеллектуальные материалы
- нанороботи, нанороботы
- квантово-механічні ефекти, квантово-механические эффекты
- нанобіологічні структури, нанобиологические структуры ХНУРЕ. Праці співробітників
- Невлюдов Ігор Шакирович, Невлюдов Игорь Шакирович, Nevliudov Igor Shakirovych
- Палагін Віктор Андрійович, Палагин Виктор Андреевич, Palagun Victor Andriyovych
- Семенець Валерій Васильович, Семенец Валерий Васильевич, Semenets V. V.