Шифр: 621.382(07) М20
Малышева И. А. Технология производства микроэлектронных устройств : учебник для средних спец. заведений по спец. "Производство микроэлектронных устройств" / И. А. Малышева. – Москва : Энергия, 1980. – 455 с. : ил. – 1,00
Малышева И. А. Технология производства микроэлектронных устройств : учебник для средних спец. заведений по спец. "Производство микроэлектронных устройств" / И. А. Малышева. – Москва : Энергия, 1980. – 455 с. : ил. – 1,00
Статистика використання: Видач: 1
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 7 | 7 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- мікросхеми, микросхемы, Mikroschaltungen
- мікроелектронні пристрої, микроэлектронные устройства
- технологічні процеси, ТП, технологические процессы
- тонкі плівки, тонкие пленки
- пластини, пластины
- літографія, литография