Дисертацію присвячено розробці апаратури для виміювання діаметра вирощуваного злитка кремнію із зменшиною похибкою, а також синтезу ефективних регуляторів, що базуються на концепції прогнозного управління технологічним процесом вирощування злитків кремнію для сонячної енергетики.
У роботірозроблено метод вимірювання діаметра злитка, що дозволяє зменшити похибку вимірювання. Створено метод прогнозу концентрації вуглецю в злитках кремнію для сонячної енергетики, що дозволяє змінити режим технологічного процесу і зменшити імовірність погіршення якості продукту з використанням спеціальної нейромережевої моделі. Запропоновано метод вимірювання активної потужності, споживаної нагрівачем ростової установки в процесі вирощуваня "сонячного" кремнію діаметром 200 мм. Синтезовано адекватну АРМАХ-модель процесу витягування монокристалічних злитків в умовах промислової установки "РЕДМЕТ-60А" і воконано синтез оптимального прогнозного регулятора, що дає можливість враховувати прогнозовані стани регульованого процесу.
Ключові слова: Злитки монокристалічного кремнію, математичне моделювання, вуглець, діаметр злитка, ростова установка, тепловий вузол.