Вид документа:

Книга

УДК:

621.382-181.48(07)
Шифр: 621.382(07) К65
Копыл Г. Ф. Основы технологии и оборудование производства микроэлектронных устройств : учебное пособие / Г. Ф. Копыл. – К. : Вища школа, 1992. – 415 с. : ил. – 3,00


Статистика використання: Видач: 1