Шифр: 621.382(07) Г96
Гусев В. В. Плазменное технологическое оборудование микроэлектроники : учебное пособие / В. В. Гусев, В. И. Кузнецов, Б. Г. Виноградов ; Моск. ин-т электрон. техники. – М. : МИЭТ, 1988. – 102 с. : ил. – 0,31
Гусев В. В. Плазменное технологическое оборудование микроэлектроники : учебное пособие / В. В. Гусев, В. И. Кузнецов, Б. Г. Виноградов ; Моск. ин-т электрон. техники. – М. : МИЭТ, 1988. – 102 с. : ил. – 0,31
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 5 | 5 |