Шифр: 621.382(07) А91
Астахова Н. А. Плазмохимическое травление и ионное легирование полупроводниковых структур : лаб. практикум по курсу "Технология интегральных полупроводниковых схем" / Н. А. Астахова, Г. И. Глазова. – М. : МИЭТ, 1988. – 72 с. : ил. – 0.10
Астахова Н. А. Плазмохимическое травление и ионное легирование полупроводниковых структур : лаб. практикум по курсу "Технология интегральных полупроводниковых схем" / Н. А. Астахова, Г. И. Глазова. – М. : МИЭТ, 1988. – 72 с. : ил. – 0.10
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 1 | 1 |