Шифр: 621.382 В 15
Валиев К. А. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. – М. : Радио и связь, 1984. – 350 с. : ил. – 2.80
Валиев К. А. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. – М. : Радио и связь, 1984. – 350 с. : ил. – 2.80
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 3 | 3 |