Диссертация посвящена исследованию процессов деградации контактно-металлизационной системы на самых начальных стадиях формирования барьера Шоттки и поиску возможности надежного прогнозирования изменения электронных параметров потенциального барьера границы раздела, который формируется. Исследования базируются на объединении ядерно-физических методов контроля тонких пленок металлов и химических соединений на поверхности арсенида галлия с анализом фазового состава системы дифракционными методами.