Вид документа:

Книга

УДК:

621.318.1 + 621.382.8
Шифр: 621.382.8 Д 18
Данилин Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б. С. Данилин ; под ред. Р. А. Нилендера. – М. : Энергия, 1972. – 256 с. : ил. – 0,89


Статистика використання: Видач: 0